Braço robótico de cerâmica de alumina para fabricação de wafer
O braço robótico de cerâmica de alumina projetado especificamente para a fabricação de wafer é um componente altamente avançado e crucial na indústria de semicondutores.
Propriedades do material
Este braço robótico é feito principalmente de cerâmica de alumina de alta pureza. Geralmente, a quantidade de alumina nele é superior a 95%. Isso dá uma força mecânica muito boa. Ao manusear as bolachas, como quando as posicionarem com precisão e movimentá -las, pode lidar com grandes tensões e tensões.
Sua dureza Mohs é de cerca de 9. Isso significa que é realmente bom em resistir a arranhões e ser desgastado. Isso é realmente importante porque, se houver algum dano à sua superfície, poderá trazer contaminantes ou atrapalhar a precisão de como as bolachas são tratadas.
As propriedades térmicas da cerâmica de alumina também são muito importantes. Possui um coeficiente de expansão térmica razoavelmente baixo, em torno de 6 - 8 × 10⁻⁶ /° C. Na fabricação de wafer, o controle da temperatura é super crítico. Graças a esse tamanho estável quando a temperatura mudar, o braço robótico pode fazer movimentos precisos e repetíveis. Mesmo quando a temperatura sobe e desce, o braço pode manter sua precisão e garantir que as bolachas sejam colocadas e movidas com o mais alto nível de precisão.
Além disso, possui boa condutividade térmica, que está entre 15 - 30 W/(M · K). Isso permite que o calor seja retirado de maneira eficaz. Ajuda a parar o braço e as peças próximas a ficar muito quentes. Se eles ficassem muito quentes, isso pode causar problemas como mau funcionamento ou danos às bolachas.
Outra característica importante é o seu excelente isolamento elétrico. Sua resistividade de volume é maior que 10 ω · cm. No ambiente semicondutor, a descarga eletrostática e a interferência elétrica podem ser muito ruins para as bolachas e todo o processo de fabricação. Mas o braço robótico de cerâmica de alumina age como um escudo confiável. Ele faz um bom trabalho de separar quaisquer correntes elétricas, e isso protege as bolachas e o equipamento eletrônico sensível nas proximidades.
Design e funcionalidade
O design do braço robótico é altamente otimizado para tarefas de fabricação de wafer. Possui uma estrutura esbelta e articulada que permite uma ampla gama de movimentos e posicionamento preciso. O efetor final do braço é cuidadosamente projetado para lidar com as bolachas com cuidado e segurança. Pode ter um mecanismo de segurança especializado, como sucção a vácuo ou almofadas de contato suave, para garantir que as bolachas não sejam danificadas durante a transferência.
O braço robótico também está equipado com sistemas de controle avançado. Esses sistemas permitem executar movimentos complexos e altamente precisos, como alinhar as bolachas com precisão microscópica. Os algoritmos de controle geralmente são ajustados para explicar os requisitos específicos da fabricação de wafer, incluindo minimizar vibrações e garantir aceleração e desaceleração suaves.
Aplicações e benefícios
Na fabricação de wafer, o braço robótico de cerâmica de alumina é usado em vários estágios. Está envolvido na transferência de bolachas entre diferentes estações de processamento, como da cassete de wafer para as câmaras de deposição ou ferramentas de gravura. Ao fornecer um manuseio preciso e confiável, ajuda a melhorar o rendimento e a qualidade geral das bolachas. Reduz o risco de quebra ou desalinhamento de bolacas, o que pode levar a perdas caras de produção.
Além disso, sua resistência à corrosão química o torna adequado para operar nos ambientes químicos severos frequentemente presentes nas instalações de fabricação de wafer. Pode suportar a exposição a ácidos, alcalses e outros produtos químicos usados nos processos de fabricação sem se deteriorar. Essa durabilidade e confiabilidade contribuem para a operação contínua e eficiente da linha de fabricação de wafer, aumentando, em última análise, a produtividade e a competitividade dos fabricantes de semicondutores.